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规范处置真空电容压力计故障是保障长期稳定运行的关键
点击次数：19 更新时间：2026-02-26
真空电容压力计基于陶瓷膜片微变形检测电容变化，虽不受气体种类影响，但对机械应力、污染、温度波动及电气干扰敏感。使用中若出现零点漂移、读数跳变、无响应或数值异常，往往源于安装残留应力、介质污染或操作不当。科学诊断并规范处置真空电容压力计故障，是保障其长期稳定运行的关键。
一、零点漂移或读数持续偏高/偏低
原因分析：
安装时法兰受力不均，导致膜片预变形；
系统烘烤后未重新校准；
传感器内部轻微污染（如油蒸气吸附）。
解决方法：
在高真空下执行现场零点校准；
若漂移反复出现，需重新拆卸并按扭矩规范安装，确保无机械应力；
对轻度污染，可通高纯氮气吹扫24小时，或在150℃下烘烤（确认规管耐温允许）。
二、压力读数跳变或噪声大
原因分析：
接地不良或信号线受电磁干扰（如靠近射频源、电机）；
电缆屏蔽层双端接地形成地环路；
电源电压不稳或纹波过大。
解决方法：
检查信号电缆是否为原厂屏蔽线，屏蔽层仅在控制器端单点接地；
将压力计电源与大功率设备分开供电，加装滤波器；
使用示波器检测电源纹波，应＜50mVpp。
三、无输出或显示“Err”
原因分析：
膜片因超压（如误通大气至高量程规）破裂；
内部电子模块故障；
电缆断路或接头氧化。
解决方法：
切勿在未抽真空时对高量程规（如1Torr）通电！若怀疑膜片损坏，需返厂检测；
用万用表测量电缆通断，检查DB接头针脚是否弯曲；
更换备用电缆测试，排除线路故障。
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